1、概述
跟着社会日益前进，人类对其生活环境质量要求进步，以及对常见流行症的防备，使人类对公共场合有了更高的要求。因为人口集合使得空气中得一氧化碳、二氧化碳及氨气浓度添加，致使室内空气下降，对人体发生严重危害，而且易构成流行症的传达。在大型商场，归纳超市，产品专业店，服务专业店和餐饮以及火车站候车室、轿车站候车室等公共场合有严厉的通风要求。
改进公共环境空气条件就要让公共环境的空气与外界空气进行交流。室内处于负压状况，而让外界空气进入公共环境中，就要有压力差的存在，咱们能够经过压力传感器感受到室内压力的巨细操控通风设备，完成智能操控。
SMI是美国一家专门出产微差压传感器芯片的厂家，是专心于卑微量程，成本低，性价比高级特色，占定了绝大部分市场份额。
2、运用SMI压力传感器的体系组成
SMI压力传感器便是将压力物理量转换成电效应，SMI压力传感器能丈量细小压力、精度高、输出程线性、带温度补偿、后期运用电路简略等特色，能准确的丈量环境中空气活动的细小压力。下图是典型的信号流程图。
压力传感器丈量室表里压力差值将物理量转换成电压信号；信号处理体系是处理电压信号，将输入的压力传感器供给的电压信号进行扩大、调零、调满度以及进行数字显现完成长途监控;操控体系经过接纳信号处理体系出来的信号，操控室内排风扇的发动与封闭，然后长途操控室内负压值，完成智能操控以及节能作用。
假如信号处理过程中，将丈量的压力差经过扩大处理后变成规范的0-20MA变送器信号，这样能直接融合到公共环境的林林总总的操控体系中，具有杰出的通用性。是未来公共环境操控体系的一个重要组成部分。
3、SMI微压传感器的技能原理
美国Silicon Microstructures INC.开发了一系列价位低、线性度在0.3%到0.05% 规模内的硅微结构压阻式传感器，满量程为0.15psi(1KPa)、0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、最低满量程为0.15psi(1KPa)，被列为超低压力丈量规模。
美国SMI廉价的压阻式、超低压传感器成功的关键是它的立异的物理刻蚀规划。一般来说,硅微压力传感器芯片选用扁平膜来丈量压力，而SMI传感器芯片选用三维膜片结构,用硅刻蚀工艺将发生的应力(压力)会集在传感电阻处。这样在坚持整体精度和线性度的一起仍有很高的灵敏度。80% 的应力传递到膜片中的梁式区域,而膜片丢掉的应力只要20%。
除了压阻器所在的四周外，膜片的一切部分都减薄，然后得到膜片的浮凸结构。因为传感器看起来像机械信号的扩大器，因而便于把膜片运动的应力会集在压阻器上，添加的应力极大地进步了信号输出，膜片上的浮凸用做停止层。四周的薄膜有效地将器材密封起来。因而压力不会前后移动。此外，在器材的结构内，离子注入电阻构成压阻式惠斯登电桥，凹坑减少了器材的总轰动质量。
SMI压力传感器无需校准即能供给线性度优于1% 的传感信号。因而，SMI压力传感器是一种功能优越、全集成化的单片硅器材。
SMI运用了一套专门规划的软件由核算机对传感器作静态和动态仿真，并进一步核算压力传感器芯片的尺度，使灵敏度和线性度满意预订要求。在出产方面，官方选用双板、CMOS或EPROM等成功的工艺，然后进步器材的可靠性、添加成品率并降低成本。
4、SMI运用电路规划
SMI运用先进的硅微结构压力传感器，并集成信号调理AS%&&&&&%技能，大大的简化了高功能压力传感器的运用。其间，SM5812和SM5852系列高功能压力传感器能够直接安装在规范的PCB板上，经过扩大、高准确性、校准过的压力信号能够经过数字接口或许模拟输出。这能够省去额定的电路，例如补偿电路或许自定义的微操控器校准电路。下图是SM5651典型运用电路图。
5、定论
SMI压力传感器是全固态、体积小、重量轻、价格低廉，特别适合在通风、空调范畴的运用。
跟着%&&&&&%制作技能极微机械加工技能的不断发展，其产品功能会逐步进步，此产品在智能机器人、航空航天、生物医学工程、轿车工业及家用电器等很多范畴有着很高的运用远景。
