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多晶硅资料的制备

本站为您提供的多晶硅材料的制备,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形

当熔融的单质硅凝结时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,假如这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则构成单晶硅。假如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则构成多晶硅。
 
1)碳复原法
在电弧中,使用纯度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右进行复原反响,可生成多晶硅。


2)三氯氢硅氢复原法
3)硅烷热分解法      
4)四氯化硅氢复原法            

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