电容式传感器简介

　　把被测的机械量，如位移、压力等转换为电容量改变的传感器。它的灵敏部分便是具有可变参数的电容器。其最常用的方式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器（见图）。若疏忽边缘效应，平板电容器的电容为εA／δ，式中ε为极间介质的介电常数，A为两电极相互掩盖的有用面积,δ为两电极之间的间隔。δ、A、ε 三个参数中任一个的改变都将引起电容量改变，并可用于丈量。因而电容式传感器可分为极距改变型、面积改变型、介质改变型三类。极距改变型一般用来丈量细小的线位移或因为力、压力、振荡等引起的极距改变(见电容式压力传感器)。面积改变型一般用于丈量角位移或较大的线位移。介质改变型常用于物位丈量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。电容器传感器的长处是结构简略,价格便宜，灵敏度高,过载能力强，动态呼应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强等。缺陷是输出有非线性，寄生电容和分布电容对灵敏度和丈量精度的影响较大，以及联接电路较杂乱等。70年代末以来,跟着集成电路技能的开展,呈现了与微型丈量外表封装在一起的电容式传感器。这种新式的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺陷得到战胜。电容式传感器是一种用处极广，很有开展潜力的传感器。