Silicon Labs近来推出了其较为满意的一款产品-依据MEMS的Si50x振荡器。其要害立异点在于运用Silicon Labs专利的CMEMS技能，CMEMS技能是把MEMS架构直接构建于规范CMOS晶圆上，然后获彻底集成的高可靠“CMOS+MEMS”单晶片解决方案。
图1 CMEMS的多层结构图（别离图）
Silicon Labs副总裁兼时序产品总经理Mike Petrowski介绍，推出Si50x系列产品主要是添补公司在群众商场的产品空白，比方数码相机、存储和内存、ATM机、POS机、打印机等。虽然是满意批量商场，可是Si50x的功能也仍是很拔尖的，总结起来便是本钱更低、尺度更小、更可靠、更高集成度、愈加便利性。
Silicon Labs副总裁兼时序产品总经理Mike Petrowski
低本钱：Si50x是在CMOS工厂大批量出产制作，工厂具有规范出产线，然后大幅降低了出产本钱。
小尺度：其质量比石英晶体减小了61000倍，选用规范CMOS IC制作工艺能够出产出三种工业规范的封装尺度：2mm*2.5mm、2.5mm*3.2mm和3.2mm*5mm。
高可靠性：这与几个方面的改善有联系，其一是与选用的资料有关，Si50x选用SiGe资料，(见图2)，这样做的优点是，当温度升高时，芯片上的SiGe会变硬，而其间的氧化槽会变软，这一软一硬的彼此弥补，就能够使器材的频率漂移接近于0。其二是因为整个MEMS在CMOS之上，很近的间隔使温度传感器的工作效率更高，响应速度也更快。其三，固定方法的不同，传统的晶体振荡器只要2个锚点，而Si50x有周围四个加中心一个的5锚点固定(参见图3)，更耐得住冲击和振荡。
图2 Si50x的资料能够发生被迫温度补偿
图3 Si50x的5个锚点很可靠
便利性：此产品与现有的石英或许MEMS振荡器引脚和封装兼容，能够完成快速替换。Si50x包含四类产品，单频率振荡器Si501、双频率振荡器Si502、四频率振荡器Si503和彻底可编程的振荡器Si504，能够依据运用需求实时调理频率。
此外为了便利CMEMS振荡器评价和使用开发，Silicon Labs还供给Si50-1-2-3-4-EVB评价套件。
Mike还介绍说，两年前公司就开端和中芯世界合作开发选用CMEMS技能的出产线，初度选用CMEMS技能出产出来的Si50x产品能有如此超卓的功能，他们也感到很快乐(也能够了解为比预期的好)。当被问及花费这么大精力研讨的使用CMEMS技能出产线是否只是用于Si50x的出产，Mike说，未来会考虑用于功能更高产品的出产。在此我个人的了解，CMEM工艺的研讨的最终目标一定是服务于全产品系列的，可是首要用于Si50x，应该是在测验和查验这一工艺的功能和商场的承受度。
Mike还趁便解说了，现在Silicon Labs的产品由几年前的无晶体振荡器转向了MEMS振荡器，是因为后者工艺更简略，开发周期更短。
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