电容式传感器具有结构简略，灵敏度高，温度安稳性好，适应性强，动态功能好等一系列长处，现在在检测技能中不只广泛使用于位移、振荡、视点、加速度等机械量的丈量，还可用于液位、压力、成份含量等热工方面的丈量中。但因为电容式传感器的初始电容量很小，一般在皮法级，而衔接传感器与电子线路的引电缆电容、电子线路的杂散电容以及传感器内极板与周围导体构成的电容等所构成的寄生电容却较大，不只降低了传感器的灵敏度，并且这些电容是随机改变的，使得仪器作业很不安稳，然后影响丈量精度，乃至使传感器无法正常作业，所以有必要设法消除寄生电容对电容传感器的影响。
寄生电容分类
沟通耦合，包含旁路（经过沟通信号，一起隔直流信号）
去耦（滤掉沟通信号或滤掉叠加在直流信号上的高频信号或滤掉电源、基准电源 和信号电路中的低频成分）
有源或无源RC滤波或选频网络
模仿积分器和采样坚持电路（捕获和贮存电荷）
虽然盛行的电容器有十几种，包含聚脂电容器、薄膜电容器、陶瓷电容器、电解电容器，但 是对某一详细使用来说，最合适的电容器一般只要一两种，因为其它类型的电容器，要么有 的功能显着不完善，要么有的对系统功能有“寄生效果”，所以不选用它们。
添加初始电容值法
选用添加初始电容值的办法能够使寄生电容相对电容传感器的电容量减小。由公式C0=ε0·εr·A/d0可知，选用减小极片或极筒间的距离d0，如平板式距离可减小为0.2毫米，圆筒式距离可减小为0.15毫米;或在两电极之间掩盖一层玻璃介质，用以进步相对介电常数，经过试验发现传感器的初始电容量C0不只明显进步了，一起也避免了过载时两电极之间的短路;别的，添加作业面积A或作业长度也可添加初始电容值C0。不过，这种办法要遭到加工工艺和安装工艺、精度、示值规模、击穿电压等的约束，一般电容的改变值在10-3～103pF之间。
选用“驱动电缆”技能，减小寄生电容
如图1所示：在压电传感器和扩大器A之间选用双层屏蔽电缆，并接入增益为1的驱动扩大器，这种接法可使得内屏蔽与芯线等电位，从而消除了芯线对内屏蔽的容性漏电，克服了寄生电容的影响，而内外层之间的电容Cx变成了驱动扩大器的负载，电容传感器因为受几许尺度的约束，其容量都是很小的，一般仅几个pF到几十pF。因C太小，故容抗XC=1/ωc很大，为高阻抗元件;所以，驱动扩大器能够看成是一个输入阻抗很高，且具有容性负载，扩大倍数为1的同相扩大器。
