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浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

本站为您提供的浅谈CP项目中的接触电阻测试技术,接触电阻的形式可分为三类:点接触、线接触和面接触。接触形式对收缩电阻Rs的影响主要表现在接触点的数目上。一般情况下,面接触的接触点数n最大而Rs最小;点接触则n最小,Rs最大;线接触则介于两者之间。

  本文预备谈谈CRES-Contact Resistance, 触摸电的相关技能。

  触摸电阻的方法可分为三类:点触摸、线触摸和面触摸。触摸方法对缩短电阻Rs的影响首要表现在触摸点的数目上。一般情况下,面触摸的触摸点数n最大而Rs最小;点触摸则n最小,Rs最大;线触摸则介于两者之间。

  之前在做CP项目时,总是发现一些对电压/电流值灵敏的测验项yield loss比预期的高,比方VOH, VOL和Vddmin的丈量等等。手动扎到这些die上,有时分直接就pass了,有时分尽管没有一跑就pass,可是略微添加over drive,也是能够pass的。其时跟产线PE评论,究竟是什么影响了测验成果?PE给的答复是“触摸电阻”。

  Cres发生在两个触摸的物体之间,会导致电或热的损耗添加。

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  Cres首要由2部分组成:

  metallic contact,金属触摸,也称作locallized physical mechanisms

  film resistance,薄膜电阻,也称作non-conducTIve contribuTIon

  current flow仅能从中心金属触摸的部分经过。

  在量产测验时,probe needle每次touch down的时分,都会刮擦die pad,在摩擦力和电磁场的效果下,会有一些沾污。由于非导电资料(例如:碎片、残渣和氧化等)的堆集,量产中的Cres改变,首要是由film resistance导致的。

  其他影响Cres的原因还有:

  针尖的形状改变导致的实践触摸面积的改变。(实践触摸面积与针尖形状、压力、和外表处理有关)

  针尖的外表平整度改变,导致的触摸面积的改变。(越润滑的外表,触摸面积越大,Cres越低。越粗糙的外表,越易沾污。)

  CP测验的温度影响氧化进程,以及碎片的构成。

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  假如任由Cres上升而不采纳方法,会导致良率的显着下降。ref[1]

  所以在量产进程中,往往会进行定时的needle clean来确保良率。

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  ref[1]

  那么Cres究竟是怎样影响测验成果的呢?之前我刚好抓了张波形图,这儿给咱们参阅。第一张图是没有清针的时分画出来的波形图

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  没有清针的波形图,能够看到电压不稳定

  下面这张是清针后的波形图:

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  清针后的波形图,能够看到波形规整了许多

  我想,经过上面4张图,咱们能够明晰地感受到,Cres关于CP测验看得到的巨大影响了。

  这儿再谈谈清针。清针尽管能够帮咱们把良率救回来,可是也有一些问题。

  前期的清针方法,往往是用磨针的方法。把针尖上的沾污磨掉。但这样也会把针尖越磨越短,这样实践触摸的点的面积就会越来越大。当probe mark的面积大过必定规模时,会导致封装的可行性和可靠性变差。而在offline maintenance的时分,有时分会用溶液etch针尖,当把针尖etch得太细的时分,会导致touch down时,部分压强过大,可能会刺穿Al pad,损坏下方的电路。

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  ref[2] Probe Mark的面积与封装失效(lift ball 起球)的对应联系

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  ref[3] Touch down关于pad下面的电路的影响

  现在常用的方法是,Semi-abrasive“半研磨”性的清针和抛光。把针尖在类似于胶带的资料上扎一下,把沾污粘下来的方法。这样能够把对针尖的磨损下降,延伸probe card的使用寿数。

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  

浅谈CP项目中的触摸电阻测验技能

  ref[3]

  在CP测验厂,通常会依据probe card和产品的特性,界说一个cleaning recipe。简略来说便是测几百颗,清一次针这样的。可是其实任何清针方法,都会对针尖形成损害。

  作为一个测验工程师,其实是有方法帮忙测验厂,改善清针流程的。把准时清针,变成按需清针。

  由于清针的意图,便是为了下降Cres。而Cres是能够经过ATE测出来的。这样只需Cres仍然在咱们要求的规模内,就能够不必清针,持续测验。咱们能够用测Open/Short的方法,给pad加电流,测电压。去掉二极管的管压降,即可得到触摸电阻。

  假如量产时能够经过监控触摸电阻来按需清针,则能够进一步地延伸probe card的寿数。

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