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【E问E答】EEPROM作业原理是怎样的?

PROM是可编程器件,主流产品是采用双层栅(二层poly)结构,其中有EPROM和EEPROM等,工作原理大体相同,主要结构如图所示:浮栅中没有电子注入时,在控制栅加电压时

  PROM是可编程器材,主流产品是选用双层栅(二层poly)结构,其中有EPROM和EEPROM等,作业原理大体相同,首要结构如图所示:

  

 

  浮栅中没有电子注入时,在操控栅加电压时,浮栅中的电子跑到上层,基层呈现空穴。因为感应,便会招引电子,并敞开沟道。假如浮栅中有电子的注时,即加大的管子的阈值电压,沟道处于封闭状况。这样就达到了开关功用。

  

 

  如图2所示,这是EPROM的写入进程,在漏极加高压,电子从源极流向漏极沟道充沛敞开。在高压的效果下,电子的拉力加强,能量使电子的温度极度上升,变为热电子(hot electron)。这种电子简直不受原子的振荡效果引起的散射,在受操控栅的施加的高压时,热电子使能跃过SiO2的势垒,注入到浮栅中。在没有其他外力的情况下,电子会很好的保持着。在需求消去电子时,使用紫外线进行照耀,给电子满足的能量,逃逸出浮栅。

  

 

  EEPROM的写入进程,是使用了地道效应,即能量小于能量势垒的电子可以穿越势垒抵达另一边。量子力学以为物理尺度与电子自在程相其时,电子将呈现波动性,这儿便是标明物体要满足的小。就pn结来看,当p和n的杂质浓度抵达必定水平常,而且空间电荷极少时,电子就会因地道效应导游带搬迁。电子的能量处于某个等级答应级其他规模称为“带”,较低的能带称为价带,较高的能带称为导带。电子抵达较高的导带时就可以在原子间自在的运动,这种运动便是电流。

  EEPROM写入进程,如图3所示,依据地道效应,围住浮栅的SiO2,有必要极薄以下降势垒。源漏极接地,处于导通状况。在操控栅上施加高于阈值电压的高压,以削减电场效果,招引电子穿越。

  

 

  要抵达消去电子的要求,EEPROM也是经过地道效应达到的。如图4所示,在漏极加高压,操控栅为0V,翻转拉力方向,将电子从浮栅中拉出。这个动作,假如操控欠好,会呈现过消去的成果。

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