显影、蚀刻、去膜（DES）工艺指导书/说明书
一.意图：本指导书规则显影、蚀刻、去膜（DES）工位的作业内容和进程。
二.规模：本指导书适用于内层和掩孔法外层的显影、蚀刻、和去膜的作业进程。
三.设备：
IML DES线
四.资料：
碳酸钠、盐酸、双氧水、氢氧化钠、去泡剂、软化水、该工位的出产板。
五.工艺：
5．1操作进程
5．11发动
将“MAIN SWITCH ”转至“ON”的方位，送入主电力电源，在按下操控面板上“POWER”钮，此刻“POWER”钮内之显现灯亮，并留意“END STOP”灯是否亮着，若有应行将操控面板上或机台上之紧迫中止按钮予以复归.
5.12开机操作次序
首要承认一切的开关均置OFF状况；
将CONTROL SOURCE的旋钮旋开,使电源输入；
将一切的加热体系依流程次序压下,先使其预热；
再将一切的温度设定器,依流程次序,设定在所需的作业温度；
压上CON钮使其运送,再调整CON SP ADJ旋钮并调整恰当的作业速度；
待温度抵达所设定之温度时再将一切的PUMP钮顺次序压下即完结作业前的开机程序；
放板前10分钟潮湿辊轮。
5．13关机操作次序
依显影、蚀刻、去膜次序顺次关掉PUMP钮，关掉一切加热，热风车持续送风，调查蚀刻段温度有否升高趋势。当热风车主动中止，且蚀刻段温度没有升高趋势时，压下STOP按钮，关掉总电源POWER，将MAIN SWITCH 转至OFF。
5.14警报产生体系
毛病警报体系依停机与否分二大类:
a.停机:
此项警报界说为主机或其一电器元件产生反常而无法运做或为保护人体安全而设置,如其一毛病或保护条件建立便会使体系中止,须将毛病或反常问题扫除后再发动体系不然发动无效。
b.不停机:
此项警报界说为预先警报或周边设备警报产生不会影响主机体系出产,所以反常产生自身中止工作,而不会中止主体系工作。
毛病紧迫处理办法:
进程:
当紧迫状况产生是时,须先按”紧迫中止”钮,瞬间中止设备之一切动作,以保安全；
停机后如内部尚有板子在内时,先行承认运送体系无反常后,可用”EMG CON”钮以寸动的办法强行使运送部分工作,将板子送出；
将其板子悉数运送后,再将操作箱上之电源开关封闭然后再查看毛病区域；
依指示区查看承认毛病区的警示灯是何处毛病；
待将一切的毛病区悉数检修结束,再开机；
开机时请恪守操作次序开机；
接板时不允许有叠板现象。
5.2工艺操控：
5.21显影段：
传送速度:1.3-1.5m/min 操控点:1.4m/min
显影槽温度:28-32℃ 操控点:30℃
建浴槽温度: 28-32℃ 操控点:30℃
药水浓度:0.8-1.1% 操控点:1.0%
显影压力:上总压:1.5-2.5 BAR 操控点:2.0 BAR
下总压:1.5-2.5 BAR 操控点:2.0 BAR
烘干温度：50℃
溶液替换与制造:
显影槽: 每天替换槽液(由建浴槽直接注入)。
建浴槽: 低液位予警时装备。
装备办法: 建浴槽低液位予警时,把7.5瓶500克碳酸钠倒入建浴槽(经过建浴槽滤网)然后向建浴槽注入软化水,到指定方位(500升处),发动建浴槽拌和和加热。
*显影时先做四块首板,检板人员查验合格后方能批量出产。
5.22蚀刻段：
传送速度:
内层 : H oz 1.9-2.1m/min 操控点:2.0m/min、1 oz 0.8-1.2m/min 操控点:1.1m/min、2 oz 0.5-0.7m/min 操控点:0.6m/min。
外层: 底铜，H oz 0.8-1.1m/min 操控点:0.9m/min、1 oz 0.5-0.7m/min 操控点:0.6m/min。
蚀刻温度:48℃
蚀刻压力:一槽:上总压:2.9 kg/cm2下总压:2.5kg/cm2
二槽:上总压:3.0 kg/cm2 下总压:2.4kg/cm2
AQUA操控器设定值(只由工艺工程师设定)
S.G : 1.26-1.30 操控点:1.28
HCL : 2.50-3.50 操控点:3.00
H2O2 : 18.0-25.0 操控点:20.0
TEMP: 40.0-45.0℃ 操控点:40.0 ℃
盐酸和双氧水增加槽低液位时别离增加精制盐酸和双氧水
(***两个槽千万不能加错***)
*蚀刻时先做4块首板,承认无残铜并经检板人员承认后,方能批量出产。
5.23去膜段
传送速度: 1.3-1.5m/min 操控点:1.4m/min
去膜槽温度: 38-42℃ 操控点:40℃
建浴槽温度: 38-42℃ 操控点:40℃
药水浓度: 1.5-2.5% 操控点:2%
去膜压力: 2.2-2.4 kg/cm2 操控点:2.3 kg/cm2
烘干温度：70℃
溶液替换与装备:
去膜槽:隔一天替换去膜槽药液.
建浴槽:低液位予警时制造.
制造办法：将20瓶500克氢氧化钠倒入建浴槽,(经过建浴槽滤网),然后向建浴槽注入软化水至指定方位(500升处)发动建浴槽拌和和加热。
去泡剂增加槽：低液位时参加去泡剂400ml，然后加满软化水。
*确任4块首板无残膜时方能批量出产。
5．3保护保养：
每天清洗各水洗段滤网，替换水槽中的水。每天目视查看各喷嘴是否阻塞。
每周对显影段和去膜段以及水洗段进行完全清洗，清洗办法如下：
a. 把槽中溶液排净，往显影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入软化水，在显影槽和去膜槽中各加20升浓碱（氢氧化钠），三段水洗各加10升浓碱（氢氧化钠），敞开喷淋，循环30分钟，中止喷淋。
b. 排净槽中清洗液。从头往显影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入软化水，敞开喷淋，循环30分钟，中止喷淋，排净槽中清洗液。
c. 把槽中溶液排净，往显影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入软化水，显影槽和去膜槽中加20升浓盐酸，三段水洗各加10升浓盐酸，敞开喷淋，循环30分钟，中止喷淋。
d. 排净槽中清洗液。从头往显影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入软化水，敞开喷淋，循环30分钟，中止喷淋，排净槽中清洗液。
e. 然后在显影槽和去膜槽中别离增加现已制造好的碳酸钠和氢氧化钠溶液。向水洗段加满软化水。开端出产。
六 、安全事项：
慎重操作，若有疑问，与工艺联络。
操作者在处理过显影液后有必要洗手.在增加盐酸和双氧水时戴塑胶手套,面具、口罩，穿防护服,若药液溅到皮肤或眼睛立即用洁净布或纸擦干,并用很多清水冲刷,必要时就医..增加氢氧化钠时戴塑胶手套,若沾到固碱或药液,立即用很多清水清洗,必要时就医.
七、自检：
显影后: 图形有必要完好,无残膜，无过显影、无显影不清。
蚀刻后: 图形有必要完好,无残铜。
去膜后:无残膜。
八、记载表单：<施工票>、<返工单>、<作废单>。
