一旦体系树立结束，就要对其功用进行测验，并优化仪器树立，以取得最佳丈量。
关于敞开状况特性剖析
在当今进行的大部分敞开状况特性剖析中，为了完成最小热量，都对器材施加脉冲信号。此外，许多功率半导体器材的终究运用也都是在脉冲条件下作业的。让源丈量单元（SMU）的输出脉冲经过测验体系，并捕获器材端口呼应，使测验体系具有合格的脉冲信号才能。吉时利2651A型大功率体系数字源表内含高速模数转换器(ADC)，能够一起对电流波形和电压波形进行数字化。这些模数转换器(ADC)对确认体系脉冲功能十分有利。假如脉冲形状出现异常，要查看电缆，保证引线电感最小化。尽或许运用吉时利公司供给的低阻抗同轴电缆，一起要使其他引线的感应环路面积最小。
关于封闭状况特性剖析
了解体系的源和丈量树立时刻。进行器材封闭状况丈量时一般运用高压源，其间电流较低，器材处于高阻抗状况。不过，或许存在无法防止的体系电容，并且器材自身也有必定电容。功率半导体晶体管输出电容一般在100pF以上。在封闭状况，器材电阻或许到达1GΩ以上，使得单一RC时刻常数为100毫秒或更长。注目的1中充电电容器的电压时刻曲线图。为了生成设定的读数，有必要等候至少4～6个时刻常数(4个时刻常数 = 99%)的时刻，这或许意味着需求将近1秒钟的树立时刻。在预算出产吞吐量或长时刻测验（如器材可靠性测验）所需时刻时，要考虑这个树立时刻。
图 1 100pF%&&&&&%器充电的电压时刻曲线。读数设置为时刻常数的4～6倍。T = RC时刻常数。
假如运用同轴衔接替代三轴衔接，要清楚：为了取得准确和可重复的低电流丈量，还需求额定的树立时刻。除了器材的RC，现在树立时刻还包含电缆以及测验台或夹具的RC时刻常数。经过在测验体系输入端施加电压阶跃，并测验输出端的电流随时刻推迟，就能够剖析整个树立时刻。吉时利2657A型或2651A型数字源表选用最快的模数转换器(ADC)，为用户供给敏捷而简易的取得树立时刻信息的办法。器材测验时，经过调查电流下降至低于器材预期本底噪声的时刻，来挑选丈量推迟。
