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氦气检漏仪的作业原理

氦气检漏仪的工作原理主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子分析器是一

氦气检漏仪作业原理

主要有离子源、分析器、搜集放大器、冷阴极电离真空计组成.

离子源是气体电离,构成一束具有特定能量的离子.

分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;

在磁场中就会依照不同轨迹半径运动而进行别离,再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙;打在搜集器上.

搜集放大器搜集氦离子流并收支到电流放大器.经过丈量离子流就可知漏率.

冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.

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