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计量光栅读数头多相信号的取得办法

用光电器件探测莫尔条纹的移动,便可测出指示光栅的移动量。这里有两个问题必须解决:一是如何辨别指示光栅的移动方向,二是如何对莫尔…

  用光电器材勘探莫尔条纹的移动,便可测出指示光的移动量。这儿有两个问题有必要处理:一是怎么区分指示光栅的移动方向,二是怎么对莫尔条纹进行细分。一般的办法是选用在一个莫尔条纹宽度内均布4个光电探头,然后取出四相信号,然后再用电子信号处理的办法完成辨向和细分。由于获得多相信号的办法触及光栅读数头的结构布局,这儿归纳地简述一下获得多相信号的两种办法。

  ①四分透镜法:从原理上说,只需能使莫尔条纹成多个像的办法都能够获得多相信号。用四分透镜(实质上便是4个不同轴的透镜)能够得到莫尔条纹的4个像,分别用4个光电组件去接纳,就输出4个信号。图1便是选用四分透镜获得四个光栅信号的计划。四分透镜便是将1块透镜分隔为4份,如图1(b)所示,然后重新摆放而成。当然也能够使用棱镜和反光镜获得分像作用。

  1一聚光镜 2一指示光栅 3一四分透镜 4一狭缝 5一光电二极管

  图1 四分透镜读数头

  ②列阵光电组件法:用多个光电组件摆放在一起,去接纳同一个莫尔条纹信号,就能够得到多个不同相位的信号。图2是选用四极硅光电池的状况。若要获得沟个信号,莫尔条纹宽度为B,则单个光电组件在条纹宽度方向上的尺度为b=B/n。

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