静电一直以来便是半导体和面板职业重视的问题，因为其发生的静电开释和吸附会形成的元件损害从而影响出产产品良率。
以面板职业为例，玻璃面板在制作工艺过程中不断被冲突、移动、吸附、加压、别离、加热、冷却等而继续发生静电，在特定的状况下就会发生静电放电现象。因为面板大尺度、高集成度、静电散布不均匀、测验空间狭小、测验间隔远，所以传统手持式静电场测验仪难以量测到精确的静电电压数值，不能满意当时面板工艺的检测要求。
因而，美商卫利引进了日本Hanwa公司全新的在线静电检测设备(如图1所示)，它选用多点检测探头，运用数值、视觉、图表三种形式切换实时显现静电数据，是最新在线、功用测验解决方案。
图1 在线静电测验设备
运用这种设备咱们在面板职业不同工艺段进行了相关测验，运用配套的软件得到了原始数据和视觉图画(如图2、3所示)。
图2 原始Excel数据(显现不同测验点所对应静电量)
图3 视觉图画(不同测验点借由色彩深浅显现静电量巨细)
在整个面板转运过程中，经过后期数据和图画剖析，能够发现不同环节面板外表静电量改变状况，针对特定改变规则及数据比照使咱们有了更多手法去发现并改进出产潜在的风险(如图4所示)。
图4后期数据剖析(显现面板在转运过程中整片玻璃静电量改变)
咱们能够运用这套新的体系所发生的信息来剖析制程中机台接地是否杰出，滚轮及顶针防静电作用是否到达预期，离子棒装置方位以及视点、高度是否适宜等来确认采纳的各种防静电手法是否有用。
