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ITO基础知识解说

液晶显示器现已成为技术密集,资金密集型高新技术产业,透明导电玻璃则是LCD的三大主要材料之一。液晶显示器之所以能显示特定的图形,就是利用导电玻璃上的透明导电电膜,经蚀刻制成特定形状的电极,上下导电玻璃

液晶显现器现已成为技术密集,资金密集型高新技术产业,通明导电玻璃则是LCD的三大首要资料之一。液晶显现器之所以能显现特定的图形,便是运用导电玻璃上的通明导电电膜,经蚀刻制成特定形状的电极,上下导电玻璃制成液晶盒后,在这些电极上加恰当电压信号,使具有偶极矩的液晶分子在电场效果下特定的方面摆放,仅而显现出与电极波长相对应的图形。

在氧化物导电膜中,以掺Sn的In2O3(ITO)膜的透过率最高和导电功能最好,并且简单在酸液中蚀刻出微细的图形。其透过率已达90%以上,ITO中其透过率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之份额来操控,一般SnO2:In2O3=1:9。

ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡,ITO薄膜即铟锡氧化物半导体通明导电膜,一般有两回事个首要的功能指针:电阻率和光透过率。

现在ITO膜层之电阻率一般在5*10-4左右,最好可达5*10-5,已挨近金属的电阻率,在实践应用时,常以方块电阻来表征ITO的导电功能,其透过率则可达90%以上,ITO膜之透过率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之份额操控,添加氧化锢份额则可进步ITO之透过率,一般Sn2O3: In2O3=1:9,因为氧化锡之厚度超越200Å时,一般通明度已不够好—尽管导电功能很好。

如用是电流平行流经ITO脱层的景象,其间d为膜厚,I为电流,L1为在电流方向上膜厚层长度,L2为在笔直于电流方向上的膜层长主,当电流流过方形导电膜时,该层电阻R=PL1/dL2式中P为导电膜 之电阻率,关于给定膜层,P和d可视为定值,P/d,当L1=L2时,怒火正方形膜层,不管方块巨细怎么,其电阻均为定值P/d,此即方块电阻界说: R□=P/d,式中R□单位为:奥姆/□(Ω/□),由此可所出方块电阻与IOT膜层电阻率P和ITO膜厚d有关且ITO膜阻值越低,膜厚越大。

现在在高级STN液晶显现屏中所用ITO玻璃,其R□可达10Ω/□左右,膜厚为100-200um,而一般等级低TN产品的ITO玻璃R□为100-300Ω/□,膜厚为20-30um。

在进行LCD走线规划时,由ITO阻核算方法,可知影响ITO阻值有如下要素:

1、ITO玻璃之方块电阻

要确保走线电阻小,应付让ITO玻璃方块电阻小,因为R□=P/d,则有必要选P小,d恰当大些的资料。

2、L1/L2

L1/L2即走线在平行电流方向与笔直电流方向上的长度比,在R□一守时,要确保走线电阻值小,就要让L1/L2小,当L1一守时,只要增大L2,也说法是在规划时,走线应尽或许加宽;而当L2一守时,L1就要小,即走线宽度一守时,细线应尽或许短。

3、ITO阻值影响

LCD显现屏规划傍边,不只要考虑走线布对ITO阻值的影响,还要考虑出产工艺对ITO阻值的影响,以便挑选恰当方块电阻的ITO玻璃,以便规划到制造的全面操控,出产高比照的LCD产品,这时高占空比及COG产品无为重要,如ITO膜厚的均匀性,因为ITO的耙材及工艺的为安稳,会使相同长度与宽度的ITO阻值发生改变,如目标值为10Ω时,其R□范围在8-12Ω之间,所以在出产中要运用ITO膜厚均匀的导电玻璃,以削减电阻的改变,其次为ITO玻璃的耐高温时性,酸碱性,因为一般LCD出产工艺中要运用高温烘烤及各种酸碱液的浸泡,而一般在300°C *30min的环境中,会使R□增大2-3倍,而在10wt%NaOH*5min及6wt%HCL*2min(60°C)下也会增到1。1倍左右,由此可知,在出产工艺中不宜选用高温出产及酸碱的长时清洗,若无法防止,则应尽量在低温下进行并尽量缩短动作时刻。

4、因为在液晶显现器中,ITO方块电阻等效于电路图中的分压电阻,其阻值巨细直接影响电路两头电压的巨细,即方块电阻越大,LCD值电压越大。稀有据标明,ITO之方块电阻由100Ω/□降至60Ω/□。(Cell Gap为6um)左右,Vth值会下降0。03V左右。

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