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纳米器材的测验东西

对于纳米电子和半导体材料与薄膜,采用灵敏的电气测量工具是十分必要的。它们提供的数据能够帮助我们完全掌握新材料的电气特性和新器件与元

关于纳米电子和半导体资料与薄膜,选用活络的电气丈量东西是十分必要的。它们供给的数据可以协助咱们彻底把握新资料的电气特性和新器材与元件的电气功用。纳米丈量仪器的活络度有必要要高得多,因为需求丈量的电流和电压更低,并且许多纳米资料还显着表现出改进的特性,例如超导性。待测电流的幅值或许处于飞安量级,电压处于纳伏量级,电阻低至微欧量级。因而,丈量技能和仪器有必要尽或许地削减噪声和其他差错源,避免搅扰信号。

具有0.1fA(即100埃安)和1μV分辨率的吉时利4200-SCS半导体特征剖析体系便是这样一种解决方案。其专门供给的脉冲I-V东西套件为脉冲I-V丈量供给了双通道脉冲发生与丈量功用。假如结合内部装置的高速脉冲发生器示波器,4200及其PIV东西套件可以一同完成直流和脉冲I-V测验。
信号反射常常会搅扰用户定制的脉冲测验体系,为了尽或许削减因为阻抗匹配欠好而形成的信号反射,吉时利的4200脉冲I-V测验解决方案供给了一种体系互连箱——RBT(Remote Bias-Tee),为衔接脉冲发生器供给了AC/DC耦合,该直流测验仪器的原理结构如图1所示。

图1. 吉时利4200-PIV测验体系的原理图

使用这种东西套件,研讨人员可以一同进行直流和脉冲IV测验以把握器材特性,例如如图2所示的FET器材系列特征曲线。

图2. 一系列FET曲线的脉冲I-V与直流I-V特征剖析

关于具有较大电阻幅值改变的各种导电资料或器材,用户使用吉时利的6221/2182A组合可以设置最佳的脉冲电流幅值、脉冲距离、脉冲宽度和其它一些脉冲参数,然后最大极限降低了DUT上的功耗。6221可以在全量程上发生具有微秒级上升时间的短脉冲(削减了热功耗)。6221/2182A组合可以完成脉冲和丈量同步——可以在6221加载脉冲之后的16μs内开端丈量。整个脉冲,包含一次完好的纳伏丈量一同,可以短达50μs。6221和2182A之间的行同步也消除了与电源线相关的噪声。
最终,吉时利的3400系列脉冲/码型发生器为广阔纳米技能研讨者供给了处理各种使用需求的灵活性。用户可以设置脉冲参数,例如幅值、上升和下降时间、脉冲宽度和占空比,可以挑选多种操作形式,包含用于资料和器材特征剖析的脉冲与猝发形式。其简练的用户界面加快了学习曲线的树立进程,比较同类产品可以使用户更快地设置和履行测验操作。

结束语:
脉冲测验为人们和研讨纳米资料、纳米电子和现在的半导体器材供给了一种重要手法。在加电压脉冲的一同丈量直流电流是电荷泵的基本原理,这关于丈量半导体和纳米资料的固有电荷抓获特性是很重要的。施加电流脉冲一同丈量电压使研讨人员可以对下一代器材进行低电阻丈量或许进行I-V特征剖析,一同维护这些名贵的器材不受损坏。

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