在准静态电容丈量[1]中,咱们经过丈量电流和电荷来核算电容值。这种“斜率”办法运用简略,可是它的频率规模有限(1~10Hz),因此只能用于一些特别情况下。
SMU1-力常数SMU2-丈量
图3.准静态C-V“斜率”丈量办法
斜率丈量办法只需要运用两台数字源表(SMU)[2]。经过第一台SMU将一个恒定电流加载到待测器材(DUT)的一个节点上。这台SMU还担任丈量该节点上的电压和时刻。一起,第二台SMU丈量DUT另一个节点输出的电流。然后能够使用下列公式核算出电容:
I = C dV/dt or C = I / (dV/dt)
这种办法一般可用于丈量巨细为100~400pF斜率为0.1~1V/S的电容。
使用射频技能[3]丈量电容
传输线的%&&&&&%丈量一般选用射频技能。其间使用矢量网络分析仪丈量散射参数(S参数),即入射波的反射和传输系数。