地震对密集的商业和住宅区以及所有类型的建筑物构成了重大威胁。随着这些区域越来越大，建筑物越来越多，地震监测需要实现一个广泛的传感器网络。由于成本高且复杂，传统仪器不能胜任。使用微机电系统(MEMS)加