随着科学技术的发展和研究领域的不断扩展，人们研究的操作对象从宏观领域逐步深入到了微观领域，并且许多领域越来越需要高速动态纳米定位系统，如微纳制造、微电子制造、汽车工业、生命科学、超精密加工与测量和纳米