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非晶硅的制备

本站为您提供的非晶硅的制备,1)等离子化学气相沉积法       该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解,硅烷分解生成硅原子,沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。

1)等离子化学气相堆积法
       该法主要是选用H2稀释的硅烷气体的热分化,硅烷分化生成硅原子,
堆积在衬底资料上构成非晶硅薄膜。



太阳能电池的制备


硅片切开-- 去除损害层--制绒-分散-刻蚀
-PECVD堆积减反射层 -丝网印刷上下电极
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