基于MEMS技术的微波滤波器研究进展-基于MEMS技术的滤波器是现在RF系统中的一个关键MEMS 器件。借助于MEMS 加工技术的进步及与射频/微波技术的结合，MEMS 滤波器的研究得到了快速的发展。MEMS 滤波器从RF 到毫米波段有很高的Q值、插入损耗低、线性好，适应现代日益复杂的RF 环境要求。##近年来由于微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系 统的迫切需要，基于MEMS 技术的可调谐滤波器逐渐引起了人们很大关注。这种滤波器由MEMS 开关、共平面传输线、可变电抗元件等构成，它们具有低插入损耗，高线性度、高Q值和更好的三阶交调频率点功率性能。